?url_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info%3Aofi%2Ffmt%3Akev%3Amtx%3Adissertation&rft.au=Defita%2C+Defita&rft.aulast=Defita&rft.aufirst=Defita&rft.degree=S1&rft.date=2022&rft.inst=Fakultas+Teknik+Universitas+Sultan+Ageng+Tirtayasa&rft.title=PEMBUATAN+SENSOR+BERBASIS+SEMIKONDUKTOR+ZnO+DENGAN+PENAMBAHAN+Ag+MELALUI+METODE+DEPOSISI+UNTUK+APLIKASI+DETEKSI+PERKEMBANGAN+SEL