Arnanda, Febri (2018) PENGARUH TEMPERATUR SUBSTRAT DAN WAKTU DEPOSISI MENGGUNAKAN METODE SPRAY PYROLYSIS TERHADAP MORFOLOGI, STRUKTUR KRISTAL DAN SIFAT LISTRIK LAPISAN TIPIS ZnO. S1 thesis, UNIVERSITAS SULTAN AGENG TIRTAYASA.

Text PENGARUH TEMPERATUR SUBSTRAT DAN WAKTU DEPOSISI MENGGUNAKAN METODE SPRAY PYROLYSIS TERHADAP MORFOLOGI, STRUKTUR KRISTAL DAN SIFAT LISTRIK LAPISAN TIPIS ZnO.pdf Restricted to Registered users only Download (3MB)

Abstract

Transparent Conducting Oxide (TCO) merupakan konduktor Transparan yang berfungsi sebagai low-e windows dan elektroda depan yang transparan. Material TCO memiliki karakteristik resistivitas listrik yang rendah dan transparansi yang tinggi, TCO yang dibuat dalam penelitian ini berupa material Zinc Oxide (ZnO). Variabel proses yang digunakan pada penelitian ini meliputi temperatur substrat dan waktu deposisi. Pembuatan lapisan tipis ZnO menggunakan metode spray pyrolysis (Ultrasonic Nebulizer). Karakterisasi yang digunakan pada sampel lapisan tipis ZnO meliputi Scanning Electron Microscopy-Energy Dispersion (SEM-EDS), X-ray Diffraction (XRD) dan I-V Meter (picoammeter). Hasil penelitian menunjukkan morfologi lapisan tipis ZnO telah terbentuk cukup merata dipermukaan substrat kaca pada temperatur 500C waktu deposisi 20 menit dan 1000C pada waktu deposisi 30 menit. Semakin tinggi temperatur lapisan tipis ZnO tidak terbentuk di permukaan substrat kaca. Semakin lama waktu deposisi 30 menit intensitas peak semakin baik. Lapisan tipis ZnO menunjukkan struktur hexagonal, intensitas peak dominan pada orientasi (011), nilai resistivitas lapisan tipis ZnO temperatur 500C 5,6 x 10-10 Ω.cm dan temperatur 1000C 2,69 x 10-10 Ω.cm.

Actions (login required)

View Item